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半导体污染物鉴别分析技术与半导体封装清洗剂介绍
减少半导体污染是提高半导体生产良率和增加利润率的关键因素之一。半导体污染可能来自设施、工具和工艺材料。特别是在开发先进工艺时,为生产设施和工艺制定单独的污染基线和洁净度规范尤为重要。为了快速解决污染问题,重要的是确定污染物并追踪其来源。
下面合明科技小编给大家分享的是半导体污染物鉴别分析技术与半导体封装清洗剂相关知识介绍,希望能对您有所帮助!
半导体污染物鉴别分析技术:
1、化学分析技术
化学分析技术能够检测液体中的痕量杂质,包括电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)、电感耦合等离子体发射光谱法(ICP-OES)、石墨炉原子吸收光谱法(GFAAS)、离子色谱法(IC)和气相色谱质谱法(GC-MS)。
ICP-MS、ICP-OES和GFAAS在许多实验室中一起使用,相互补充。GFAAS的主要优点是可以分析极小体积(μL)的样品,并且对大多数元素的检出限显著低于ICP-OES。ICP-OES相对于GFAAS的主要优点是其多元素分析能力和良好的动态线性范围。ICP-MS具有比GFAAS更低的检出限,结合ICP-OES的多元素能力,这使得ICP-MS非常适合需要超低检出限和多元素分析的应用。
lC可以检测阴、阳离子,并且分离干扰,这使得该技术在分析超纯水、溶剂、清洗液、电镀液和其他化学品中的痕量污染以及从超纯水提取中收集的残留物分析方面具有吸引力。
将气相色谱和用于检测和鉴定的质谱结合的GC-MS成为一种非常强大的分析工具。洁净室环境中的有机物可能会产生问题,它会改变表面疏水性,降低击穿电压,形成碳化硅而影响氧化物的生长和质量,导致无意掺杂,并导致雾霾的形成。
GC-MS可以监测主要的有机污染源,如洁净室建筑材料和聚合物、洁净室空气、超纯水和化学品。有机污染的第二个来源是来自洁净室配件,如服装、手套、无尘布、硅片和包装容器。
2、微量分析技术
目前有许多分析技术能够表征固体材料(包装材料、塑料、硅片、薄膜、颗粒物、金属靶材、设备零部件等)中的污染物。这些分析技术中的许多都涉及到使用电子、光子或离子束来探测样品。主光束作为激发源,以某种方式与材料相互作用。
深度剖面是材料作为深度函数的表征。大多数技术可以通过改变分析条件来改变探测深度,一层一层地去除表面,同时收集数据。溅射过程在真空室中进行,以确保在分析期间暴露的表面保持无污染。使用这一原理的分析技术包括 SIMS、TOF-SIMS、俄歇电子能谱仪(AES)和XPS。分析信息来自于在主光束轰击期间从样品中溅射出的电子、光子或离子。在大多数情况下,几个相关的量子过程或多或少同时发生,分析技术会集中在某一特定方面。
傅里叶变换红外光谱(FTIR)和透射电子显微镜(TEM)用于监测与样品相互作用后主光束(能量、强度和角分布)的变化。
半导体封装清洗剂W3100介绍
半导体封装清洗剂W3100是合明科技开发具有创新型的中性水基清洗剂,专门设计用于浸没式的清洗工艺。适用于清洗去除半导体电子器件上的助焊剂残留物,如引线框架、分立器件、功率模块、倒装芯片、摄像头模组等。本品是PH中性的水基清洗剂,因此具有良好的材料兼容性。
半导体封装清洗剂W3100的产品特点:
1、本品可以用去离子水稀释后使用,稀释后为均匀单相液,应用过程简单方便。
2、产品PH值呈中性,对铝、铜、镍、塑料、标签等敏感材料上显示出极好的材料兼容性。
3、不含卤素,材料环保;气味清淡,使用液无闪点,使用安全,不需要额外的防爆措施。
4、由于 PH 中性,减轻污水处理难度。
半导体封装清洗剂W3100的适用工艺:
水基清洗剂W3100适用于浸没式的清洗工艺。
半导体封装清洗剂W3100产品应用:
水基清洗剂W3100是合明科技开发具有创新型的中性水基清洗剂,适用于清洗去除半导体电子器件上的助焊剂残留物,如引线框架清洗、分立器件清洗、功率模块清洗、倒装芯片清洗、摄像头模组清洗等。本产品PH值呈中性,对铝、铜、镍、塑料、标签等敏感材料上显示出极好的材料兼容性。
具体应用效果如下列表中所列: