火星电竞·(CHINA)官方网站,火星电竞APP

因为专业

所以领先

客服热线
136-9170-9838
[→] 立即咨询
关闭 [x]
行业动态 行业动态
行业动态
了解行业动态和技术应用

突发!全球光刻机龙头ASML TWINSCAN NXT:2050i和NXT:2100i光刻机发货许可证

合明科技 👁 2290 Tags:光刻机ASML出口许可证NXT:2050i
2024年1月1日,全球光刻机龙头ASML官网发布声明称,荷兰政府最近吊销了该公司2023年发货TWINSCAN NXT:2050i和NXT:2100i光刻机的部分许可证,这会对其少数中国客户产生影响。

撤销许可证的一个大背景,就是2023年美国发布了出口管制新规,进一步收紧了对中国的设备出口,而ASML作为芯片核心设备制造商,也受到影响。不过,当时ASML高管曾谈到,适用该新规的涉及先进芯片制造的中国晶圆厂数量有限。

ANNOUNCEMENT .VELDHOVEN,THE NETHERLANDS,JANUARY 12 0 2 4

A license for the shipment of NXT:2050i and NXT:2100ilithography systems in 2023 hasrecently been partially revoked by the Dutch government, impacting a small number ofcustomers in China

We do not expect the current revocation of our export license or the latest U.S. export controlrestrictions to have a material impact on our financial outlook for 2023

In recent discussions with the US government,ASML has obtained further clarification of thescope and impact of the US export control regulations. The latest US export rules (publishedOctober 17,2023)impose restrictions on certain mid critical DUV immersion lithographysystems for a limited number of advanced production facilities.

ASML is fully committed to comply with all applicable laws and regulations including exportcontrol legislation in the countries in which we operate.

TWINSCAN NXT:2050i

TWINSCAN NXT:2050i 是最先进的浸没式光刻系统设计与先进镜头设计的结合,其数值孔径 (NA)为 1.35,这是目前半导体行业中最高的。该步进扫描系统是一款高生产率的双级工具,专为批量生产而设计。

通过将高生产率与前所未有的覆盖性能相结合,该系统满足了多种图案化要求,为在先进逻辑和 DRAM 节点制造 300 毫米晶圆提供了经济高效的解决方案。

image.png

TWINSCAN NXT:2100i

TWINSCAN NXT:2100i 是TWINSCAN NXT:2050i的后继产品。其新的硬件和软件创新使单机覆盖率提高了 10% (0.9 nm),匹配机覆盖率提高了 13% (1.3 nm)。

NXT:2100i 采用了新的镜头畸变操纵器 ,为芯片制造商提供了前所未有的校正能力。它使系统能够改善 DUV-EUV 交叉匹配叠加。通过将 4 色测量增加到 12 色以及在晶圆测量侧添加更多对准标记测量,可以提高对准精度。各种软件算法也已更新,以提供改进的场间和场内叠加控制。

image.png

ASML声明如下:

荷兰政府近期撤销部分2023年NXT:2050i及NXT 2100i微影系统之出口许可证,对少数位于中国的客户产生影响。
我们预期,当前出口许可证的撤销或美国最新的出口管制限制措施,不会对我们2023年的财务前景产生重大影响。
在最近与美国政府的讨论中,ASML获得了美国出口管制法规的范围和影响的进一步明确。美国最新出口规则(2023 年 10 月 17 日发布)对有限数量的先进生产设施的某些中关键 DUV 浸没式光刻系统施加了限制。
ASML 致力于遵守所有适用之法律和规范,包括我们运营所在国家之出口管制规范。


[图标] lygfydj.com
[↑]
申请
[x]
*
*
标有 * 的为必填
火星电竞·(CHINA)官方网站