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印刷稳定性是影响Bump高度一致性的关键因素与锡膏印刷版清洗介绍

合明科技 👁 2232 Tags:锡膏清洗剂锡膏印刷版清洗晶圆级封装Bump制造工艺

选择合适粒径的锡膏非常重要,助焊剂体系的选择也是非常关键。因为一些SAW 的IDT 位置是裸露的,焊锡膏或助焊剂的飞溅都有可能影响IDT的信号和声波之间的转换。

案例分享

应用:SAW Filter

  • 6 inch 钽酸锂晶圆(印刷测试以铜板代替钽酸锂晶圆)

  • Bump 高度=72±8μm;共面度<10μm

  • 钢网开孔尺寸:130*140*50μm

  • 锡膏:AP5112 SAC305 T6

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图7 印刷后

印刷稳定性是影响Bump高度一致性的关键因素。印刷窗口的定义通常受印刷设备的能力、钢网的加工工艺、产品设计等因素的影响,通常通过实验验证获得。如图7所示,6号粉锡膏的连续印刷表现优异,没有发现连锡和大小点的问题。Bump的高度数据能够更好地说明。

在回流焊过程中,已印刷在UBM区域的锡膏逐步熔化,助焊剂流至焊锡四周,而焊料熔化后回流到UBM上并在界面之间形成金属间化合物(Intermetallic Layer),冷却后形成一定高度的Bump。Bump的平均高度非常靠近目标值,且标准差相对较小,如图8、图9所示。

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图8 Bump高度数据

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图9 Bump高度标准差

Bump 高度的指标非常关键,Bump中的空洞也至关重要。在SAW Filter上面的结果显示,贺利氏的6号粉和7号粉具有良好的表现,如图10所示。

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图10 Bump void 数据

晶圆级封装最终会以芯片级应用到系统封装,即以倒装芯片的工艺集成到模组里。在此过程中会经历多次回流焊工艺,那么回流焊之后Bump内部的空洞会发生怎样的变化?对此,我们测试了3次回流焊之后Bump内部空洞的变化,结果如图11所示。


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图11 多次回流焊后空洞变化的数据

锡膏清洗剂

合明科技专注精密电子清洗技术20多年,是SMT贴装/DIP封装,功率半导体器件及芯片封装精密清洗工艺技术方案、产品、清洗设备提供商。精密电子清洗除焊后助焊剂、锡膏、焊膏、球焊膏、焊锡膏、锡渣等残留物,合明科技的清洗剂清洗的锡膏种类更多(测试过的锡膏品种有ALPHA、SMIC、INDIUM、SUPER-FLEX、URA、TONGFANG、JISSYU、HANDA、OFT、WTO等品牌;。水基系列产品,精细化对应涵盖从半导体封装到PCBA组件终端,包括有水基清洗剂和半水基清洗剂,碱性和中性的水基清洗剂等。具体表现在,在同等的清洗力的情况下,合明科技的兼容性较佳. 先进封装包括倒装芯片、WLCSP晶圆级芯片封装、3D IC集成电路封装、SiP系统级封装、细间距封装等等。

 



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